PBT-650晶元二流體清洗機
設備特點:
- 可更換清洗吸盤,可使用4-12英寸的清洗吸盤;
- 操作程序可按作業需求編寫調整,設備運行流程、清洗時間及各項參數可自行編制;
- 設備運行狀態及參數在線實時監控,自動門配有安全光柵,保證操作安全;
- 采用真空吸附式清洗盤,晶元夾具的取放更安全、方便;
- 擺臂式清洗,清洗范圍可編制,適用范圍廣、無清洗盲區、無二次污染,清洗效果更佳;
- 設備清洗室全密封,且配有自動擋水圈,有效防止二次污染;
- 高速離心設計,轉速可調節100-2000R/Min;
- 配備獨特的靜電消除裝置,輔助清洗達到最佳效果,可選擇使用氮氣;
- 設備配有大面積透明觀察窗;
- 縮減寬度的省空間設計,結構緊湊,占用空間??;
- 整機鏡面不銹鋼機身,能耐酸堿,對工作環境無污染,鏡面機殼易于保養。
清洗工藝:
放入物料 ---- 一鍵清洗開始,安全門自動關閉 ---- 二流體清洗 --- 離心脫水(去靜電離子風與加熱腔體輔助干燥) --- 清洗完畢 --- 報警提示 --- 玻璃門自動打開。
采用高速離心設計,主要使用于4-12英寸的硅晶圓片的精密清洗;搭配二流體清洗、靜電消除/氮氣、高速離心等裝置,使被清洗件達到干燥、潔凈的目的。
應用領域:
主要用于高端晶元灰塵的清洗,如下圖:
技術參數:
設備外觀尺寸 |
700mm(L)×650mm(W)×1100mm(H) |
|
清洗盤規格 |
4-12英寸(可選) |
|
清洗盤尺寸 |
定制 |
|
純水入口徑 |
外徑Ø8mm純水軟管 |
|
排水出口徑 |
3/4″軟管 |
|
氣源入口徑 |
Ø12mm PU氣管 |
|
排風口口徑 |
2.5″皮管接頭(75mm外徑) |
|
電源供應 |
AC220V; 50HZ ;5A |
|
總功率 |
1.5KW |
|
耗電量 |
清洗時: 1.5kw/h |
待機時: 0.5kw/h |
氣源供應 |
0.45-0.7Mpa |
|
DI水供應 |
>0.35Mpa |
|
清洗壓力 |
3.8-8Kgf/cm² |
|
離心轉速 |
100-2000R/Min |
|
傳動馬力 |
1HP |
|
純水消耗量 |
0-1000ML/Min |
|
氣體消耗量 |
200-500L/Min |
|
空氣過濾方式 |
一級0.01μm除油過濾器;二級0.01μm精密過濾器 |
|
環境過濾方式 |
0.3μm;99.99% |
|
機器凈重 |
約200KG |
博易盛專注于清洗設備的研發與制造,將做好每一臺清洗設備為己任,為客戶提供優質產品為目標。博易盛已開發產品有:全氣動網板清洗機、全自動水基網板清洗機、全自動PCBA在線型清洗機、全自動PCBA離線型清洗機、全自動毛刷清洗機、全自動治具清洗機、全自動吸嘴清洗機、全自動攝相頭模組清洗機、全自動晶圓清洗機等系列清洗設備;涉及領域:SMT 、PCB 、CCM 、半導體、印刷 光學玻璃、精密五金、 柔性PCB、模塊PCB、主機板PCB等領域的產品清洗。